中国工程物理研究院开发的等离子体烟气脱硫脱硝工业试验装置，由12000Nm3/h烟气处理量的电子束辐照烟气脱硫脱硝工业化试验装置和脉冲电晕放电脱硫脱硝工业试验装置组成，二者共用烟气参数调节和副产物收集装置。装置采用加氨的工艺流程，处理的烟气来自自备燃电厂。

该装置由烟气调节系统、氨投加装置、副产物收集装置、测量控制系统、脉冲电晕放电处理系统等6个主要部分组成。来自电厂水膜除尘器前和水膜除尘器后的烟气经冷却塔隆降温增湿后，被送至反应器中处理，同时喷入氨。处理后的烟气被输送至副产物收集装置，其中的硫酸铵和硝酸铵被收集，处理后的烟气则由烟囱排出。

该装置是我国自行设计和建造的第一套工业化试验装置。